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アナターゼ型TaONエピタキシャル薄膜の合成この節では、はじめにアナタ
アナターゼ型TaONエピタキシャル薄膜の合成
この節では、はじめにアナターゼ型TaON(a-TaON)単結晶エピタキシャル薄膜の合成方法および条件に触れた後、製膜時の肝となるラジカルソースとターゲットについて言及する。
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アナターゼ型TaONエピタキシャル薄膜の合成この節では、はじめにアナターゼ型TaON(a-TaON)単結晶エピタキシャル薄膜の合成方法および条件に触れた後、製膜時の肝となるラジカルソースとターゲットについて言及する。
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Synthesis of anatase TaON epitaxial film
in this section, beginning after touching the anatase TaON (a-TaON) synthesis method and conditions of the single-crystal epitaxial thin film, reference is made to the radical source and target of the liver during the film.
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The TaON anatase epitaxial thin film synthesis. In this section, we TaON anatase type in a TaON after touching the synthesis method of single crystal epitaxial thin films and the radical source and target during the film deposition and refers to the liver. At
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